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非接触式高精度表面测量仪

非接触式高精度表面测量仪

德国FRT-MicroGlider® 600是一款用于分析大面积样品的非接触式高精度表面测量仪。空气轴承上的大型定位工作台（600 mm x 600 mm）和线性电机的非接触式驱动确保了测量的高精度，比机械轴承所提供的线性误差明显更低，故特别适合在半导体、MEMS和太阳能行业等的大面积玻璃基板上进行快速、高分辨率的光度测量。 通过使用各种光学传感器，也可高度精确地测量台阶高度、粗糙度、波纹度及其他2D/3D测量参数。可以轻松实现自动化测量。

可测量平整度、起伏度、台阶高度、图形识别、表面形貌、凹凸、弯曲度、粗糙度、缺陷检测、共面性、三维立体图、磨损。


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商品描述

德国FRT-MicroGlider® 600是一款用于分析大面积样品的非接触式高精度表面测量仪。空气轴承上的大型定位工作台（600 mm x 600 mm）和线性电机的非接触式驱动确保了测量的高精度，比机械轴承所提供的线性误差明显更低，故特别适合在半导体、MEMS和太阳能行业等的大面积玻璃基板上进行快速、高分辨率的光度测量。 通过使用各种光学传感器，也可高度精确地测量台阶高度、粗糙度、波纹度及其他2D/3D测量参数。可以轻松实现自动化测量。

可测量平整度、起伏度、台阶高度、图形识别、表面形貌、凹凸、弯曲度、粗糙度、缺陷检测、共面性、三维立体图、磨损。


v 公司简介

        FRT公司成立于1995年，专业生产高性能3D表面测量仪器。通过设计研发各种功能传感器，根据不同的测量任务和测量范围选择不同的传感器，按需求组合成不同规模的系统，配套使用自主开发的测量软件，可广泛应用于测量单层及多层膜厚、TTV、应力、形貌、结构、缺陷、粗糙度、平整度、凹凸尺寸、弯曲度、翘曲度、磨损度、台阶高度等测量。

v 描述

MicroGlider® 600是一款用于分析大面积样品的非接触式高精度表面测量仪。空气轴承上的大型定位工作台（600 mm x 600 mm）和线性电机的非接触式驱动确保了测量的高精度，比机械轴承所提供的线性误差明显更低，故特别适合在半导体、MEMS和太阳能行业等的大面积玻璃基板上进行快速、高分辨率的光度测量。 通过使用各种光学传感器，也可高度精确地测量台阶高度、粗糙度、波纹度及其他2D/3D测量参数。可以轻松实现自动化测量。

v 测量功能

平整度、起伏度、台阶高度、图形识别、表面形貌、凹凸、弯曲度、粗糙度、缺陷检测、共面性、三维立体图、磨损。

v 优势

测量精度高，速度快，可满足工业的最高要求；
可以集成到现有的生产过程中，比如作为一个一键式解决方案；
经济耐用，维修维护服务费用低。



System

MicroGlider® 600

System Requirements

 

Assembly

Gantry Design

Environmental Requirements

Clean, Vibration Free, Stable Temperature

Sensor

Multi-Sensor

Input Voltage

110V/220V AC，1Phase

Scanning Stage

 

Footprint (L×W×H)

1100mm×1400mm×1550mm

Travel

600mm×600mm

Weight

approx. 2100kg

Drive Type

Direct Drive

Measuring Characteristics

(Measuring Head)

CWL 600μm (other sensors available)

Bearing Type

Air Bearing

Measuring Range XY

600mm×600mm

Encoder Resolution

20nm

Measuring Range Z

600μm

Flatness

＜1μm/600mm

Resolution (lateral)

2μm

Max. Speed

300mm/s

Resolution (vertical)

6nm

Load Capacity

40kg

 

 

Z-Axis

Motorized Axis

 

 

Z-Axis Travel

100mm

 


v 同系列产品

MicroGlider® 500R：用于旋转对称部件的非接触式高精度测量仪。该设备基于FRT经验丰富的多传感器技术，适合在研发和生产检验中使用。凭借光学色彩测量技术，可以快速检测阀座和密封件等样品而不造成破坏。空气轴承上的精密旋转台，配备创新的自定心样品固定架，保证了精确的测量结果。具有交互式和自动化的测量和评估模式，可通过按钮来启动预设的测试程序。