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肖特BF33玻璃

        BOROFLOAT® 33是一种高品质的硼硅玻璃,源于德国肖特公司,它利用微浮法工艺和最先进的技术生产而成。BF33玻璃质地均匀,它具有镜面般的绝佳表面、极高的表面平整度和良好的光学性能。
        BF33玻璃晶圆具有合适的热膨胀系数出色的平整度等出色材料特性以及极高的紫外透过率,这些这正符合高速激光解键合工艺的特殊要求。在晶圆减薄工艺中,它们的绝佳性能,可用于阳极键合或作为载体晶圆。

   

@由BOROFLOAT®玻璃制成的玻璃晶圆具有出色的耐热性能。

       热膨胀系数与硅的完美匹配是获得良好键合效果的关键,BOROFLOAT®的玻璃成分就是为此量身定做的。 在加工过程中,晶圆经常被置于冷热变化的环境中。较低的线性热膨胀系数使得BOROFLOAT® 玻璃晶圆能够轻松应对升高的温度,更重要的是当热量突然变化时,晶圆不会破裂或翘曲。

@载体晶圆具有极高的透过率,适用于特殊的紫外键合应用。

 

        通过载体晶圆进行激光解键合,不仅解键合时间快而且性价比高。
        深紫外光在相应激光波段范围的透过率是这种晶圆解键合技术可行性和效率的关键。激光活化是通过采用248nm或308nm的准分子激光器辐照实现的。超低铁含量0.5mm厚的BOROFLOAT® 载体晶圆在308mm波段的透过率超过90%,即使在248nm波段,其透过率仍大于35%,明显优于其它薄玻璃材料。

@酸、碱和有机物对BOROFLOAT®玻璃晶圆几乎不产生任何不良影响。

     在高度复杂的化学腐蚀和化学机械抛光过程中,玻璃晶圆会长时间接触到很多化学物质,因此极高的化学稳定性是玻璃晶圆的另一个关键特征。在某些技术领域,特别是有掩模的化学腐蚀技术中,为了获得高清晰度的表面沟道,通常采用具有极强的化学腐蚀剂。而具有超高化学稳定性的BOROFLOAT® 33玻璃晶圆可以展现完美的外形设计结构和极其精确的控制沟道深度。

@由BOROFLOAT®制成的玻璃晶圆具有极为可靠的工艺稳定性。

 

      许多晶圆的微结构是通过超声钻削,或者光刻与干法刻蚀相结合。为了加工出具有完美表面图案和精确尺寸的高精度结构化晶圆,晶圆本身的机械强度和稳定性非常关键。如下图所示,与其它备选基底材料相比,BOROFLOAT® 具有极为优异的耐摩擦性能。

产品特点:

1.超高的表面质量

2.优越的透光性、极低的荧光强度以及极高的紫外线和红外线透过率

3.极低的膨胀系数、抗热冲击性强以及长期工作温度高达450℃

4.极佳的化学稳定性,对水、强酸、强碱以及有机物质的腐蚀有高度耐受性

5.极佳的抗刮花效果、极高的硬度以及密度可比普通钠钙玻璃低20%

6.极低的含碱量可作为一种优良的电绝缘体

7.符合所有要求和工业标准(例如SEMI)的客户指定产品

典型应用:

  • 微光学
  • MEMS(压力传感器、加速器...)
  • 晶片级封装(图像传感器封装…)
  • 生物工程(微观流体、DNA分析…)
  • PLC晶圆盖板
  • 以及许多其它客户指定应用

     

     

    玻璃晶圆基本性能:

    技术参数:

    密度(25℃)

    2.23g/cm2

    膨胀系数(ISO 7991)

    3.25′10-6k-1

    透光率

    91%

    软化点

    820℃

    短期使用<10h

    550℃

    长期使用≧10h

    450℃

    折射率(587.6nm)

    1.47140

    努氏硬度

    480

     

    玻璃晶圆加技术参数:

    1)材料:BOROFLOAT®33

    2)标准厚度:0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.5mm(厚度公差±0.02mm)
    3)标准尺寸:Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ5"、Φ6"、Φ8"、Φ12"(其他尺寸可定制)

    4)外观:60/40
    5)表面粗糙度(Ra)<1.5nm

    6)平行度<0.01mm

    7)各棱边倒钝C0.05~0.2mm

    8)裂口<0.2mm,不可内裂

     

     

脚注信息
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